SEM掃描電鏡的工作原理為: 在高真空的鏡筒中,由電子槍產(chǎn)生的電子束經(jīng)電子會聚透鏡聚焦成細束后,在樣品表面逐點進行掃描轟擊,產(chǎn)生一系列電子信息(二次電子、背反射電子、透射電子、吸收電子等),由探測器將各種電子信號接收后經(jīng)電子放大器放大后輸入顯像管。

SEM掃描電鏡在觀測樣品時要滿足什么樣的條件?
①形貌結(jié)構(gòu)形態(tài),要耐高真空
SEM掃描電鏡是一種用電子束掃描物體表面的成像技術(shù)。空氣的存在會使電子束變形,影響掃描效果,所以樣品需要能夠承受高真空。
②樣品表面導(dǎo)電
樣品表面要導(dǎo)電,如果導(dǎo)電性比較差,可以鍍金處理以提高導(dǎo)電性。在大多數(shù)情況下,主電子束電荷大于背散射電子和二次電子的數(shù)量,因此要將多余的電子導(dǎo)走,使樣品表面沒有電荷積累。
③特殊樣品制備的注意事項
一般來說,不建議在該掃描電鏡下觀察磁性材料。如果要觀察這種材料,建議先消磁。