探針臺的主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析，抽查測試等用途。
維護和保養
1. 避免碰撞：在安裝，操作CS探針臺時應避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發生故障或異常異音。
2.儀器的運輸：儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。
儀器運輸應使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。
3.儀器的存放
使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機械精密部件，光學部件，電學接觸面污染，導致儀器精度降低。
探針臺機體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器，以免發生故障或危險。
探針臺光學部件清潔時，可用鏡頭紙蘸從中間向外輕輕的擦拭。時易燃物，注意使用安全。
停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。
操作人員必須嚴格按要求操作，以保證數據的準確和儀器的正常使用。
4.工作環境
探針臺應放在穩定可靠的臺面上，是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。
使用溫度范圍為5℃～40℃，濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時門窗盡可能關閉，使室內達到除濕效果。
