本器主要由、電極、諧振腔、硬質玻璃三部分組成。

1．電極部分:CO2激光器一般采用冷陰極，形狀為圓筒形，陰極材料選用對激光器的壽命有很大的影響，對陰極材料的基本要求是：濺射率低，氣體吸收率小，常用的金屬材料為鎳。

　 2．諧振腔部分：本部件由全反鏡和輸出反射鏡組成。諧振腔的全反鏡一般以光學玻璃為基底，表面渡金膜，金膜反射鏡在10.6um附近的反射率達98%以上；諧振腔的輸出反射鏡一般采用能透射10.6um輻射的紅外線材料鍺(Ge)為基底,在上面渡上多層介質膜而制成。

　3．硬質玻璃部分；本部件由料燒制成放電管、水冷套、儲氣套和回氣管而組成。封離式CO2激光器通常為三層套管結構。最里面的是放電管，中間是水凈套，最外一層是儲氣套，回氣管是用于連通放電管和儲氣管。