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2022年12月30日 15:24:55      來源:泰州市愛德機電科技有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺      閱讀量:23

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薄膜真空計是迄今為止得到的可作為低真空測量(0.01--100Pa)工作副標(biāo)準(zhǔn)的一種真空儀器,
也是我國具有法定計量校準(zhǔn)檢定規(guī)程的一種真空度計量器具(校準(zhǔn)參照規(guī)程:Q/WHJ46-1998標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計校準(zhǔn)規(guī)程)
 

電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計,原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化,即產(chǎn)生了電容的變化,再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化,組成為輸出信號,所以,它的測量是直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無關(guān),即:薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。
 
而我們的真空設(shè)備的真空度測量控制常用的真空計往往是電阻計、熱偶計等等間接測量的真空計,是一種熱傳導(dǎo)型的真空測量方法,簡單一點來說,就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強(真空度),是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法,。由于測量原理上的先天不足,這類真空計的測量精度、測量穩(wěn)定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計大1~2個以上數(shù)量級(誤差大于30%,行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是50%),尤其是在低真空段,誤差更大,另外,使用過電阻計、熱偶計的度知道,這些儀表測量前還需要零點、滿度校正,怎么能夠用于在線測量控制呢?另外,遇到氫氣等小質(zhì)量的氣體就無法測量了,如果要測,也查表換算,到底真空度是多少?猜吧。
 
不過,它確實也有它的優(yōu)點的:制造容易、價格低廉,在許多的要求較低真空設(shè)備上還普遍使用著,……用過電阻計的都領(lǐng)教過它的煩心。許多人抱怨花了3、4千元買到進(jìn)口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因為老外的這個價位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測量機理的真空傳感器。所以選擇真空計、真空傳感器、首先要看看什么原理、什么類型的,而不是數(shù)字、智能,測量機理陳舊,再怎么數(shù)字、怎么智能,也于事無補的。
 
現(xiàn)代真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展,涉及的應(yīng)用范圍越來越廣泛、真空應(yīng)用設(shè)備對儀器儀表的要求越來越高,特別是對測量精度、穩(wěn)定性要求、以及自動控制性能要求也越來越高,這直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量,關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果,甚至于成功與否。在精細(xì)化工、真空冶煉、真空單晶爐、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導(dǎo)體材料生產(chǎn)、高特新材料、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出。
許多新設(shè)備、新工藝、新產(chǎn)品的開發(fā)之所以老是無法實現(xiàn)預(yù)想的技術(shù)指標(biāo)和效果,往往就是因為真空測控儀表選型不當(dāng)、其實際的測量控制精度無法達(dá)到設(shè)計要求所造成的。
當(dāng)然,薄膜真空計也不是的,首先是價格高,國內(nèi)一般是4-6千元,量限低的貴些;進(jìn)口則1.6—2.5萬元/只左右;其次,國內(nèi)老式的薄膜規(guī)容易零漂,需要經(jīng)常校正,要求高的經(jīng)常校正。主要是技術(shù)陳舊,國內(nèi)材料科學(xué)相對落后造成的,溫度穩(wěn)定性不好;還有一個量程跨度小,國內(nèi)的不超過3個數(shù)量級。第三是國產(chǎn)規(guī)嬌氣,容易壞,有油污進(jìn)去很難清洗,要用丙酮,清洗挽救13往往會報廢,小量程的23會壞。
所以,我們需要有一種具有國產(chǎn)價格、進(jìn)口品質(zhì)的、使用方便、經(jīng)久耐用薄膜真空計。緊跟的真空測量新技術(shù),我們能夠做得到的。
分析國外的薄膜真空計與我們舊式國產(chǎn)產(chǎn)品的有什么不同呢?一是陶瓷薄膜真空壓力測量技術(shù)、二是智能儀表技術(shù)。首先是通過大規(guī)模厚膜電路(國內(nèi)有些廠家還是20年前的007運放),將薄膜電容測量機構(gòu)和傳感器調(diào)理電路微型化,做在陶瓷基片上,另外,將智能儀表電路微型化,一次儀表和二次儀表合二為一,所以量程寬、精度高、體積小;(其典型代表如萊寶627、英福康TCBG等等)。學(xué)習(xí)和引進(jìn)核心技術(shù),采用*新型IC,根據(jù)我國真空設(shè)備配套測控儀表的特點,研制出的陶瓷薄膜真空計,其測量精度和穩(wěn)定性已經(jīng)可以與進(jìn)口產(chǎn)品相媲美了。根據(jù)國內(nèi)設(shè)備的習(xí)慣,控制柜上數(shù)字面板表,還是經(jīng)常使用的,采用專門設(shè)計的具有真空測控特點的精密二次儀器儀表,借籍于現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的科技成果,有利于提供測量的精度、分辨率、穩(wěn)定性和可靠性,增加智能化的自動控制功能,(可以配接任何一種模擬量、數(shù)字量的接口,比進(jìn)口的薄膜真空計更靈活、更方便)
實踐證明,具有現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的新型陶瓷薄膜真空計使用到(環(huán)保能源生物醫(yī)藥常用設(shè)備的)真空濾清、真空精餾真空冷凍干燥機、真空單晶爐、氣氛真空爐、、真空鍍膜機等設(shè)備,做真空測量和自動控制帶來*地方便和性能提高,可以快速升級為智能型的真空應(yīng)用設(shè)備。當(dāng)然,也可以用到科研實驗室、計量室作為相應(yīng)的真空段的0.1級標(biāo)準(zhǔn)器,陶瓷芯片的優(yōu)異性能使其年穩(wěn)定度達(dá)到0.1%以上;

(筆者80年代初期起即從事生產(chǎn)各類型真空測控儀器儀表,用于真空電爐、真空羅茨泵機組自動控制的ZKJ-100、90b型真空繼電器用戶遍布全國各地,沿用至今,30年來,不斷地開發(fā)新產(chǎn)品,緊跟水平,在多年提供配套服務(wù)過程中,積累了許多技術(shù)方案、成熟經(jīng)驗,可提供大家參考。歡迎交流,)

如果您在設(shè)備上已經(jīng)使用了進(jìn)口的薄膜計,
不妨也用一用、試一試VR-208C-510系列薄膜真空計,(它的*性能可能會使你覺得買老外的有點冤。。。);

如果您一直在使用電阻計、熱偶計、甚至古老的麥?zhǔn)险婵沼嫞?br>那么,相信我們的VR-208C-510系列新型薄膜真空計一定會給您的工作帶來改觀和驚喜。

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